懿华Evoqua赛莱默XYLEM CEDI IONPURE VNX55-EX 超高纯大流量 CEDI 模块，设计产水 12.5m³/h，专为半导体、光伏、电子级超纯水设计

 

懿华Evoqua赛莱默XYLEM CEDI IONPURE VNX55-EX 超高纯大流量 CEDI 模块，设计产水 12.5m³/h，专为半导体、光伏、电子级超纯水设计，安装需满足半导体级洁净与精度要求。模块安装于千级洁净室内，水平固定于防静电不锈钢支架，水平度误差＜0.3mm/m，四周预留≥100cm 检修空间，环境温度 20–25℃、湿度＜60%、无尘无腐蚀。管路采用 316L EP（电解抛光）卫生级管材，内壁 Ra＜0.4μm，快接 / 卡箍连接，无死角、易清洁，产水压力高于浓水 0.05–0.07MPa，防止污染。电气配置专用高精度直流电源（0–600V、0–10A），具备超纯级保护，接地可靠、防静电处理，与双级 RO + 脱气 + 精滤 + 抛光混床 + TOC 降解系统深度集成，实现全自动控制与在线监测。安装前进行洁净室清洁与模块表面净化，安装后用超纯水低压冲洗 90 分钟，排尽管路残留，确保无颗粒、无 TOC 污染。懿华Evoqua赛莱默XYLEM CEDI IONPURE VNX55-EX 专业安装，保障半导体级超高纯水系统稳定达标。


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